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臭氧發生器一般采用高頻、高壓電源供電，所以在有導電氣體存在的環境中應不能使用，使用人員須操作規程執行。

臭氧發生器件在高濕或雜質、油類含量較高的氣體環境下工作時，，應及時清洗(一般一年后)，設計制造者應考慮到器件的易安裝替換，便于維護保養。

臭氧發生器的消菌優勢：

1，臭氧發生器凈化不需要其他輔助材料和添加劑。凈化進行時臭氧發生裝置產生一些臭氧，在相對密封的環境下，擴散均勻，包容性、通透性好，克服了紫外線燈管消菌存在的不能每個角落都清潔的問題，可以得到很好地解決。

2、高潔性：

臭氧在環境中可自然分為氧，這是臭氧作為消菌劑的優點。臭氧利用空氣中的氧氣產生的，凈化過程中，多余的氧原子(O)在30分鐘后又結合成為分子氧(O2)，不存在殘留物質，解決了殘留物的二次污染問題，同時省去了潔凈結束后的再次清潔。

3、方便性：

臭氧消菌設備一般安裝在室內或空氣凈化系統中，或者是消菌設備中(如傳遞窗等)。可根據消菌所需濃度及時間，自動設置臭氧消菌設備的定時控制，操作使用方便。

4、經濟性：

通過臭氧消菌在諸多制藥行業GMP中的應用，臭氧凈化方法與其他方法相比具有很大的經濟效益。