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無塵車間也稱為無塵室，潔凈室，空氣中的有害空氣污染物，在細菌的影響下，一些顆粒被排除在外，和房間的溫度，潔凈度，環境壓力，氣流速度與氣流分布，噪音振動及照明，靜電控制在一定的應用，并給予特別設計的無塵車間。換句話說，無論怎么變化在外部空氣的條件下，其內部可能保留了原來的要求的其他性能特征的潔凈度

無塵車間應該維持一定的正壓，可通過送風量大于排風量的辦法達到。不同等級的無塵車間以及無塵區與非無塵區之間的靜壓差應大于或等于5Pa，無塵區與室外的靜壓差應大于或等于10Pa。工藝過程產生大量粉塵、有害物質、易燃易爆物質的工序，其操作室與其他房間或區域之間應保持相對負壓。

到目前為止，在半導體無塵車間、潔凈室中**迫切需要適當控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是**嚴格的水準。在高的相對濕度環境下，由于水分的吸收，使烘烤循環后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負面影響；較低的相對濕度（約30%）使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，