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層流式空氣氣流運動成均勻的直線形，空氣覆蓋率**進入過濾器進入室內，并由高架地板或者由兩側隔墻板回風，這種型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為class1~100。其型式可以分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間口板**以ULpA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，口板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室，并經過潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

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