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萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室對(duì)凈化方面標(biāo)準(zhǔn)有一定的要求，并且在設(shè)計(jì)規(guī)劃的時(shí)候也應(yīng)該注意以下方面的細(xì)節(jié)：

1、選址原則:無(wú)塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營(yíng)費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場(chǎng)、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無(wú)塵車間與交通主干道間距宜50米以上。

2、動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn):要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動(dòng)線勿集中;無(wú)塵車間四周，宜設(shè)緩沖區(qū);制造裝置的出入，不要對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。

3、有些空氣凈化系統(tǒng)的空氣，如經(jīng)處理仍不能避免交叉污染時(shí)，則不能循環(huán)使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機(jī)溶媒精制的原料藥精制、干燥工序;放射性藥品生產(chǎn)區(qū);病原體操作區(qū);工藝過(guò)程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)、揮發(fā)性氣體的生產(chǎn)工序;固體口服制劑的顆料

4、節(jié)能原則:無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計(jì)和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種"小處節(jié)約大處浪費(fèi)"的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。

一、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室節(jié)能方面采取的措施

1、廠址選擇、建筑布局與工藝設(shè)置的合理性，可以從根本上降低初投資及運(yùn)行費(fèi)用。

2、減少凈化空間是大家共同關(guān)注的實(shí)現(xiàn)節(jié)能的快捷有效途徑的方向。凈化系統(tǒng)的風(fēng)量取決于房間體積和換氣次數(shù)，而換氣次數(shù)大多由潔凈**所確定，因此要降低潔凈系統(tǒng)的風(fēng)量可以減小凈化空間入手。因?yàn)榈惋L(fēng)量化即合理地選定換氣次數(shù)可以減少送風(fēng)動(dòng)力消耗。同時(shí)在管路設(shè)計(jì)中盡可能減少系統(tǒng)的阻力，也可達(dá)到降低送風(fēng)動(dòng)力消耗的效果。

3、正確確定生產(chǎn)設(shè)備的熱負(fù)荷對(duì)選定空調(diào)制冷設(shè)備有直接關(guān)系。

4、空調(diào)和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理性。

5、工藝過(guò)程中和空調(diào)系統(tǒng)的熱回收是可以直接獲益的措施，因此應(yīng)充分利用這部分熱量，使之達(dá)到物盡其用的目的。

6、設(shè)計(jì)方案應(yīng)具有較好的適應(yīng)性(靈活性)，它是實(shí)驗(yàn)性車間應(yīng)該考慮的問(wèn)題(如單向流/非單向流的轉(zhuǎn)換、分區(qū)轉(zhuǎn)換等)。

7、新風(fēng)集中處理有利于應(yīng)用地下水預(yù)冷、除塵和加濕。

8、室內(nèi)換氣次數(shù)和末級(jí)過(guò)濾器效率之間的組合(達(dá)到相同**)需進(jìn)行經(jīng)濟(jì)比較。

二、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室運(yùn)行過(guò)程中的注意事項(xiàng)

1、生產(chǎn)工作停止時(shí)，排氣柜應(yīng)減小排風(fēng)量，新風(fēng)量亦應(yīng)隨之調(diào)小。

2、根據(jù)不同的工藝過(guò)程應(yīng)能有效控制室內(nèi)換氣次數(shù)。

3、與一般空調(diào)系統(tǒng)相同，運(yùn)行中在某些季節(jié)應(yīng)盡可能利用自然的冷卻作用(室外空氣冷卻、冬季利用冷卻塔獲得冷水)。

4、過(guò)渡季是否增加新風(fēng)比，以及值班運(yùn)行方式是否提前開(kāi)動(dòng)運(yùn)行均應(yīng)通過(guò)經(jīng)濟(jì)比較確定。

5、提高空調(diào)凈化系統(tǒng)的自控水平，能夠?qū)崿F(xiàn)既保障運(yùn)行質(zhì)量，又能達(dá)到節(jié)能的目的。